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RWTH Aachen University

Entwicklung und Charakterisierung eines ionenunterstützten reaktiven Aufdampfverfahrens mit In-situ-HEED-Struktur- und AES-Konstitutionsanalyse der wachsenden keramischen Schicht

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*
Author dc:creator
  • von Richthofen, Alexander

Subjects

dc:subject × 5

Rights

dc:rights
Statement dc:rights
  • info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language
ger

Identifiers

dc:identifier.*

Chain of custody

source
Harvested from
RWTH Aachen University
Base URL
publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated
2026-07-30
Source record
OAI-PMH GetRecord
citation

von Richthofen, Alexander. Entwicklung und Charakterisierung eines ionenunterstützten reaktiven Aufdampfverfahrens mit In-situ-HEED-Struktur- und AES-Konstitutionsanalyse der wachsenden keramischen Schicht. 1996. https://publications.rwth-aachen.de/record/46571