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RWTH Aachen University
Entwicklung und Charakterisierung eines ionenunterstützten reaktiven Aufdampfverfahrens mit In-situ-HEED-Struktur- und AES-Konstitutionsanalyse der wachsenden keramischen Schicht
Author and committee
dc:creator, dc:contributor.*- Author dc:creator
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- von Richthofen, Alexander
Subjects
dc:subject × 5Rights
dc:rights- Statement dc:rights
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- info:eu-repo/semantics/closedAccess
- Language dc:language
- ger