Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV

Im Mittelpunkt dieser Arbeit stehen die Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen. Dazu wurden diese Materialien für die verwendete Elektronenstrahlverdampfung evaluiert und charakterisiert. Für die Überwachung des Aufdampfprozesses standen zwei separate In-situ Schichtdickenkontrollen zur Verfügung. Für periodische Multischichtsysteme wurde die für Mo/Si-Multischichten genutzte Röntgenreflektometrie übernommen. Aufgrund des Wechsels von Mo/Si auf La/B4C musste materialbedingt die Steuerung des Verdampfungsprozesses weiterentwickelt und optimiert werden. Für die Herstellung aperiodischer La/B4C-Multischichtsysteme wurde zusätzlich ein In-situ Ellipsometer in Betrieb genommen. Des Weiteren soll eine Senkung der Grenzflächenrauigkeiten und damit einhergehende Erhöhung der Reflektivitäten von La/B4C-Multischichten durch das Polieren mit beschleunigten Ionen der einzelnen Schichten während der Herstellung untersucht werden. Die hergestellten Multischichten werden hinsichtlich Rauigkeiten, Reflektivitäten und spektraler Bandbreite charakterisiert und ausgewertet.

Level thesis:degree_level

thesis.doctoral

Grantor dc:publisher

Universität Bielefeld

Year

2009

Author dc:creator

• Hendel, Stefan

Repository record source_url

https://pub.uni-bielefeld.de/record/2302600

OAI identifier oai:identifier

oai:pub.uni-bielefeld.de:2302600