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Technische Universität Dresden
Untersuchung von Dünnschichtsystemen mittels Elektronenstrahl-Mikroanalyse
Abstract
dc:description.abstractDie Arbeit beschäftigt sich mit der Erweiterung der für dicke Proben schon mit Erfolg eingesetzten Werkstoffanalytischen Methode Elektronenstrahl-Mikroanalyse (ESMA) mittels Peak/Untergrund-Verhältnissen auf die Analyse von dünnen Schichten (unter 1 μm) zur qualitative und quantitativen Elementanalyse sowie zur Ermittlung von Schichtdicken. Weiterhin wird auf der Basis von einer ESMA-Methode für zwei dünne Schichten auf einem Substrat wird ein Modell zur Ermittlung des Phasenwachstumskoeffizienten für eine intermetallische Phase die sich bei der Diffusion zwischen einer dünnen Schicht und einem Substrat bildet, mittels ESMA-Messungen bei gleichzeitiger Erwärmung der Probe dargestellt.
Degree
thesis:*- Level thesis:degree_level
- thesis.doctoral
- Grantor dc:publisher
- Technische Universität Dresden
- Year
- 1992
Author and committee
dc:creator, dc:contributor.*- Author dc:creator
-
- Gorfu, Paulos
- Contributors dc:contributor
-
- Blasek, G.
- Leonhard, G.
- Däbritz, S.
Subjects
dc:subject × 18- Elektronenstrahl-Mikroanalyse
- Dünnschicht
- Röntgenstrahlenabsorption
- Elektronenstreuung
- Substrateinfluβ
- Berechnungsverfahren
- Heiztischmikroskop
- Diffusion (Techn.)
- Phasenkoeffizient
- electron beam microanalysis
- thin film
- x-ray absorption
- electron backscattering
- substrate contribution
- quantitative method
- hot stage microscope
- Diffusion
- phase diffusion coefficient