{"id":{"repo_id":"qucosa-diss","oai_identifier":"oai:qucosa:de:qucosa:23789"},"canonical_url":"https://search.dev.ndltd.org/etd/qucosa-diss/oai:qucosa:de:qucosa:23789","repository":{"repo_id":"qucosa-diss","name":"QUCOSA","base_url":"http://www.qucosa.de/oai/"},"display":{"title":"Untersuchung von Dünnschichtsystemen mittels Elektronenstrahl-Mikroanalyse","abstract":"Die Arbeit beschäftigt sich mit der Erweiterung der für dicke Proben schon mit Erfolg eingesetzten Werkstoffanalytischen Methode Elektronenstrahl-Mikroanalyse (ESMA) mittels Peak/Untergrund-Verhältnissen auf die Analyse von dünnen Schichten (unter 1 μm) zur qualitative und quantitativen Elementanalyse sowie zur Ermittlung von Schichtdicken. Weiterhin wird auf der Basis von einer ESMA-Methode für zwei dünne Schichten auf einem Substrat wird ein Modell zur Ermittlung des Phasenwachstumskoeffizienten für eine intermetallische Phase die sich bei der Diffusion zwischen einer dünnen Schicht und einem Substrat bildet, mittels ESMA-Messungen bei gleichzeitiger Erwärmung der Probe dargestellt.","abstract_html":"Die Arbeit beschäftigt sich mit der Erweiterung der für dicke Proben schon mit Erfolg eingesetzten Werkstoffanalytischen Methode Elektronenstrahl-Mikroanalyse (ESMA) mittels Peak/Untergrund-Verhältnissen auf die Analyse von dünnen Schichten (unter 1 μm) zur qualitative und quantitativen Elementanalyse sowie zur Ermittlung von Schichtdicken. 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