Conception d'un système de dépôt à plasma d'arc cathodique et application de ce dernier à l'étude des propriétés optiques et électroniques de certaines couches typiques

Dans ce travail, nous avons construit un dispositif à arc sous vide et étudié les conditions optimales pour obtenir un fonctionnement stable du système. La configuration du dispositif est décrite en détail et l'influence des formes des cibles et du filtre magnétique dans l'opération de dépôt de films de laiton et de carbone a été étudiée. Les caractéristiques des films de carbone ont été analysées par ellipsométrie, spectrophotométrie, microscopie à force atomique et diffraction des rayons X. Les films obtenus étaient des films de carbone de type diamant ayant des résistivités aussi élevées que 4 fois 10 sp8 Omega.cm et une bande interdite de 1,2 eV. L'étude des films de laiton a montré qu'ils présentaient la structure caractéristique du laiton alpha et qu'ils avaient une excellente adhérence sur les substrats en métal, en plastique et en verre.

Name thesis:degree_name

Maîtrise ès sciences (physique)

Level thesis:degree_level

2e cycle

Discipline thesis:degree_discipline

Faculté des sciences

Grantor dc:publisher

Université de Moncton

Year dc:date.issued

1997

Author dc:creator

• Tran, Quang Trung.

Advisor dc:contributor.advisor

• Truong, Vo-Van

• Vide (Physique)
• Plasma (Gas ionisés)
• Couches minces
• Propriétés optiques
• Propriétés électriques

Statement dc:rights

• Author

Language dc:language.iso

iso639-2b, fre

Identifier

oclc: 726506271

Dc Identifier Other

umir:1076

OAI identifier oai:identifier

oai:umoncton.scholaris.ca:20.500.14658/7472