Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al 2 O 3 aus AlCl 3 -CO 2 - H 2 - HCl-Gemischen

Schierling, Matthias

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Mainz

Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al 2 O 3 aus AlCl 3 -CO 2 - H 2 - HCl-Gemischen

dc:creator Schierling, Matthias

dc:date1999

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Mainz
Year dc:date: 1999

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Schierling, Matthias
Contributors dc:contributor: Neuschütz, Dieter

Rights

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Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-117641%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A55502

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Last updated: 2026-07-30
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aachen
1999

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Schierling, Matthias. Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al 2 O 3 aus AlCl 3 -CO 2 - H 2 - HCl-Gemischen. Mainz, 1999. https://publications.rwth-aachen.de/record/55502

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