Entwicklung und Charakterisierung elektronischer Bauelementstrukturen auf der Basis einkristalliner CoSi 2 /Si(100)-Heterostrukturen und sub-my-m-Strukturierung dieses Schichtsystems durch lokale Oxidation

Dolle, Martin

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Entwicklung und Charakterisierung elektronischer Bauelementstrukturen auf der Basis einkristalliner CoSi 2 /Si(100)-Heterostrukturen und sub-my-m-Strukturierung dieses Schichtsystems durch lokale Oxidation

dc:creator Dolle, Martin

dc:date1997

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Author dc:creator: Dolle, Martin

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Dolle, Martin. Entwicklung und Charakterisierung elektronischer Bauelementstrukturen auf der Basis einkristalliner CoSi 2 /Si(100)-Heterostrukturen und sub-my-m-Strukturierung dieses Schichtsystems durch lokale Oxidation. 1997. https://publications.rwth-aachen.de/record/54642

Entwicklung und Charakterisierung elektronischer Bauelementstrukturen auf der Basis einkristalliner CoSi 2 /Si(100)-Heterostrukturen und sub-my-m-Strukturierung dieses Schichtsystems durch lokale Oxidation

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