Einsatz der Lasertechnik in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Metallisierung durch UV-laserinduzierte Prozesse

Frerichs, Hartmut

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Shaker

Einsatz der Lasertechnik in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Metallisierung durch UV-laserinduzierte Prozesse

dc:creator Frerichs, Hartmut

dc:date1996

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 1996

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Frerichs, Hartmut

Rights

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Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-116508%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A54351

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Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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aachen
1996

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Frerichs, Hartmut. Einsatz der Lasertechnik in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Metallisierung durch UV-laserinduzierte Prozesse. Shaker, 1996. https://publications.rwth-aachen.de/record/54351

Einsatz der Lasertechnik in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Metallisierung durch UV-laserinduzierte Prozesse

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