Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen

Daleiden, Jürgen

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Shaker

Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen

dc:creator Daleiden, Jürgen

dc:date1997

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 1997

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Daleiden, Jürgen
Contributors dc:contributor: Heime

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-116423%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A54264

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Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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aachen
1997

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Daleiden, Jürgen. Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen. Shaker, 1997. https://publications.rwth-aachen.de/record/54264

Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen

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