Modellierung des PLD-Prozesses zur Abscheidung elektrokeramischer Dünnschichten

Mertin, Michael

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Shaker

Modellierung des PLD-Prozesses zur Abscheidung elektrokeramischer Dünnschichten

dc:creator Mertin, Michael

dc:date1996

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 1996

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Mertin, Michael

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-116301%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A54138

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Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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aachen
1996

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Mertin, Michael. Modellierung des PLD-Prozesses zur Abscheidung elektrokeramischer Dünnschichten. Shaker, 1996. https://publications.rwth-aachen.de/record/54138

Modellierung des PLD-Prozesses zur Abscheidung elektrokeramischer Dünnschichten

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