Abscheidekinetik von Siliciumcarbid aus MTS-H 2 -CH 4 -HCl-Ar-Mischungen bei 800 bis 1400 C

Delhaes, Christof

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Mainz

Abscheidekinetik von Siliciumcarbid aus MTS-H 2 -CH 4 -HCl-Ar-Mischungen bei 800 bis 1400 C

dc:creator Delhaes, Christof

dc:date1995

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Mainz
Year dc:date: 1995

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Delhaes, Christof
Contributors dc:contributor: Neuschütz, D.

Rights

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Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-115369%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A53196

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Last updated: 2026-07-30
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Delhaes, Christof. Abscheidekinetik von Siliciumcarbid aus MTS-H 2 -CH 4 -HCl-Ar-Mischungen bei 800 bis 1400 C. Mainz, 1995. https://publications.rwth-aachen.de/record/53196

Abscheidekinetik von Siliciumcarbid aus MTS-H 2 -CH 4 -HCl-Ar-Mischungen bei 800 bis 1400 C

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