Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren

Schorn, Peter Jörg

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Shaker

Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren

dc:creator Schorn, Peter Jörg

dc:date2007

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 2007

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Schorn, Peter Jörg
Contributors dc:contributor: Waser, Rainer

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-114915%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A52713

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Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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aachen
2007

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Schorn, Peter Jörg. Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren. Shaker, 2007. https://publications.rwth-aachen.de/record/52713

Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren

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