Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen

Feyh, Ando Lars

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AFO-Verl

Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen

dc:creator Feyh, Ando Lars

dc:date2006

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: AFO-Verl
Year dc:date: 2006

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Feyh, Ando Lars
Contributors dc:contributor: Mokwa, Wilfried

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-114726%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A52505

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Harvested from: RWTH Aachen University
Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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aachen
2006

citation

Feyh, Ando Lars. Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen. AFO-Verl, 2006. https://publications.rwth-aachen.de/record/52505

Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen

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