CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als High-K-Dielektrika auf SOI-Substraten

Gottlob, Heinrich Dieter Bernd

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Shaker

CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als High-K-Dielektrika auf SOI-Substraten

dc:creator Gottlob, Heinrich Dieter Bernd

dc:date2008

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 2008

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Gottlob, Heinrich Dieter Bernd
Contributors dc:contributor: Kurz, Heinrich

Subjects

dc:subject × 1

info:eu-repo/classification/ddc/621.3

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-112657%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A50099

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Harvested from: RWTH Aachen University
Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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Gottlob, Heinrich Dieter Bernd. CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als High-K-Dielektrika auf SOI-Substraten. Shaker, 2008. https://publications.rwth-aachen.de/record/50099

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