Neuartige Precursor zur Abscheidung von Selten-Erd-Oxiden

Im Rahmen dieser Arbeit wurden Solvate von Nitraten und Perchloraten der Selten-Erd-Elemente untersucht. Alle Verbindungen konnten strukturchemisch und thermoanalytisch charakterisiert werden, wobei die Zersetzungsrückstände pulverdiffraktometrisch analysiert wurden. Der thermische Abbau führt dabei zu den jeweiligen Oxiden bzw. Oxidchloriden. Es wurden verschiedene Precursorsyteme für die Abscheidung von Selten-Erd-Oxid-Dünnschichten auf einer Silicium-Oberfläche auf Basis von Nitrat-Solvaten entwickelt und untersucht. Durch Aufbringung des in organischen Lösungsmitteln gelösten Precursors konnten Ultradünnschichten auf der H-Si(111)-Oberfläche erhalten werden. Die Oxid-Schicht konnte nach dem Aufheizen der Probe detektiert werden. Die Filmdicke konnte dabei auf < 10 nm bestimmt werden, wobei die Dicke und das Abscheidungsverhalten des Films durch die Konzentration der Precursorlösung gesteuert werden kann.

Level thesis:degree_level

thesis.doctoral

Grantor dc:publisher

Universität Oldenburg

Year

2010

Author dc:creator

• Ahlers, Mareike

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http://oops.uni-oldenburg.de/937

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