Entwicklung integrierbarer Mikrokraftsensoren für die roboterbasierte Mikro- und Nanohandhabung

Die Messung sehr kleiner Kräfte hat für zahlreiche Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie eine grosse Bedeutung, sei es beim Handhaben von Mikrobauteilen oder bei der Bestimmung der mechanischen Eigenschaften nanoskaliger Strukturen. Die Grundlage dieser Arbeit bildet eine detaillierte Betrachtung der Besonderheiten in der Mikro- und Nanowelt sowie Untersuchungen der spezifischen Anforderungen an die Kraftmessung in der Mikro- und Nanohandhabung. Verschiedene Kraftmessprinzipien zur Entwicklung von Mikrokraftsensoren wurden analysiert und geeignete Prinzipien bestimmt. Zur Evaluierung wurden mehrere Mikrokraftsensoren basierend auf einer widerstandsbasierten Dehnungs- und Spannungsmessung entwickelt und kalibriert. Zusätzlich wurde ihr Verhalten beim Einsatz im Rasterelektronenmikroskop untersucht. Durch die Integration ausgewählter Mikrokraftsensoren in mobile und stationäre Mikroroboter wurden drei Mikro- und Nanohandhabungsstationen mit Kraftrückkopplung implementiert.

Level thesis:degree_level

thesis.doctoral

Grantor dc:publisher

Universität Oldenburg

Year

2008

Author dc:creator

• Fahlbusch, Stephan

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