Laser-Neutralteilchenmassenspektrometrie: Ortsaufgelöste Elementanalytik an Kristallen, Keramiken, Solarzellen, Kunststoffen und archäologischen Funden und Bestimmung von Sättigungsintensitäten ungesättigter Photoionisationsprozesse

In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode <br>vorgestellt, die die Elementzusammensetzung der Oberfl'ache und <br>der darunter liegenden Schichten analysiert. Sie ist unter dem <br>Namen 'L-SNMS' (Laser unterstützte Sekundär Neutralteilchen <br>Massenspektroskopie bekannt und <br>entwickelt sich zu einem universellen, <br>räumlich-elementspezifischen Analyseverfahren für unbekannte <br>Proben. Bei dieser Methode wird schichtweise Material von der <br>Probe durch einen Sputterprozess im Hochvakuum abgetragen. Die <br>dabei entstehenden Atome und Moleküle sind überwiegend neutral. Mit einem energiereichen Laserstrahl <br>werden diese Neutralteilchen in unmittelbarer Nähe der <br>Probenoberfläche photoionisiert und die dabei entstehenden Ionen <br>in einem Massenspektrometer analysiert.

Author dc:creator

• Walz, Stefanie

Contributors dc:contributor

• Helm, Hanspeter

• Sättigungsintensität
• Ionisationswirkungsquerschnitt
• Ortsaufgelöste Elementanalytik
• Solarzellen
• Halbleiter

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