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Bei dieser Methode wird schichtweise Material von der <br>Probe durch einen Sputterprozess im Hochvakuum abgetragen. Die <br>dabei entstehenden Atome und Moleküle sind überwiegend neutral. Mit einem energiereichen Laserstrahl <br>werden diese Neutralteilchen in unmittelbarer Nähe der <br>Probenoberfläche photoionisiert und die dabei entstehenden Ionen <br>in einem Massenspektrometer analysiert.","abstract_html":"In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode &lt;br&gt;vorgestellt, die die Elementzusammensetzung der Oberfl&#x27;ache und &lt;br&gt;der darunter liegenden Schichten analysiert. Sie ist unter dem &lt;br&gt;Namen &#x27;L-SNMS&#x27; (Laser unterstützte Sekundär Neutralteilchen &lt;br&gt;Massenspektroskopie bekannt und &lt;br&gt;entwickelt sich zu einem universellen, &lt;br&gt;räumlich-elementspezifischen Analyseverfahren für unbekannte &lt;br&gt;Proben. Bei dieser Methode wird schichtweise Material von der &lt;br&gt;Probe durch einen Sputterprozess im Hochvakuum abgetragen. 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