Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

Klotzbücher, Thomas

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Shaker

Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

dc:creator Klotzbücher, Thomas

dc:date1999

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 1999

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Klotzbücher, Thomas
Contributors dc:contributor: Poprawe, Reinhart

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-121796%22
OAI identifier oai:identifier: oai:publications.rwth-aachen.de:60066

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source

Harvested from: RWTH Aachen University
Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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1999

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Klotzbücher, Thomas. Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren. Shaker, 1999. https://publications.rwth-aachen.de/record/60066