Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren
type: CreativeWork
author: Klotzbücher, Thomas
language: ger
date published: 1999
date modified: 2026-07-30T19:42:48Z
provider: RWTH Aachen University
publisher: Networked Digital Library of Theses and Dissertations
type: WebPage
source organization: Shaker