Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme
type: CreativeWork
author: Schmid, Philipp
keywords: Diamantschichten, Mikroschalter
date published: 2006
date modified: 2026-07-24T05:16:02Z
provider: Universität Ulm
publisher: Networked Digital Library of Theses and Dissertations
type: WebPage
source organization: Universität Ulm