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Technische Universität Chemnitz
Untersuchung der Energiedissipationsprozesse mikromechanischer Systeme
Abstract
dc:description.abstractIm Fokus dieser Arbeit stehen Dämpfungseffekte schwingfähiger Mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), die nach dem kapazitiven Wirkprinzip arbeiten. Die verschiedenen Dissipationsprozesse und die zugehörigen analytischen Modelle sowie numerischen Berechnungsmöglichkeiten auf physikalischer Ebene werden vorgestellt und mit eigenen experimentellen Ergebnissen verglichen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der fluidischen Dämpfung im Kontinuum und bei leichter Verdünnung, was bei den meisten kapazitiven MEMS den dominierenden Verlusteffekt darstellt.
Degree
thesis:*- Level thesis:degree_level
- thesis.doctoral
- Grantor dc:publisher
- Technische Universität Chemnitz
- Year
- 2020
Author and committee
dc:creator, dc:contributor.*- Author dc:creator
-
- Freitag, Markus
- Contributors dc:contributor
-
- Mehner, Jan
- Gerlach, Gerald