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Technische Universität Dresden
Elektronenspektroskopie und Faktoranalyse zur Untersuchung von ionenbeschossenen Metall (Re, Ir, Cr, Fe)-Silizium-Schichten
Degree
thesis:*- Level thesis:degree_level
- thesis.doctoral
- Grantor dc:publisher
- Technische Universität Dresden
- Year
- 2000
Author and committee
dc:creator, dc:contributor.*- Author dc:creator
-
- Reiche, Rainer
- Contributors dc:contributor
-
- Wetzig, Klaus
- Szargan, R.
- Möller, Wolfhard
Subjects
dc:subject × 18- Augerelektronenspektroskopie (AES)
- Augerparameter
- Chrom
- Defektgenerierung
- Eisen
- Eisenimplantation
- Ionenbeschuß
- Konversionselektronen-Mößbauerspektroskopie (CEMS)
- Konzentrations- und Phasenzusammensetzung im Nanometerbereich
- Konzentrationsprofile,
- Auger electron spectroscopy (AES)
- Photoelectron spectroscopy (XPS)
- QUASES
- Re-Si band structure
- atomic concentration and phase composition in regions of a few nanometer thickness
- conversion electron Moessbauer spectroscopy (CEMS)
- defect generation
- d