Beiträge zur räumlich aufgelösten Analyse mittels Scanning Laserablation-ICP-Massenspektrometrie unter besonderer Berücksichtigung von Schichtsystemen und Supraleitern
Die vorliegende Arbeit stellt die Ergebnisse der methodologischen Entwicklung räumlich aufgelöster Analyse mittels Scanning Laserablation-ICP-Massenspektrometrie dar. Eine neue Behandlung zur Quantifizierung transienter analytischer Signale wurde für die Wiederherstellung von Konzentrationsprofilen vorgeschlagen. Die Anwendung der entwickelten Modelle auf die räumlich aufgelöste Analyse mittels LA-ICP-MS ermöglicht verbesserten Informationsgewinn und lässt dadurch eine höhere räumliche Auflösung erreichen. Die Anwendbarkeit der LA-ICP-MS für die räumlich aufgelöste Bestimmung der Stöchiometrie in supraleitenden Borokarbiden wurde untersucht. Der Einfluss apparativer Größen auf das analytische Signal wurde aufgeklärt, um die Messbedingungen zu optimieren. Zusätzlich wurden Fraktionierungseffekte untersucht, um die Ursache und deren Auswirkung auf die Analyse supraleitender Borokarbiden zu erklären.
Elementanalyse, Fraktionierungseffekte, Laserablation, Massenspektrometrie, Schichtdickebestimmung, Stöchiometriebestimmung, Tiefenprofilanalyse, induktiv gekoppeltes Plasma, ortsaufgelöste Analyse, räumliche Auflösung, supraleitende Borokarbide, transien, depth profiling, elemental analysis, fractionation, inductively coupled plasma, mass spectrometry, spatial resolution, stoichiometry, superconducting borocarbides, transient signal
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