{"id":{"repo_id":"patras-thes","oai_identifier":"oai:nemertes.library.upatras.gr:10889/2380"},"canonical_url":"https://search.dev.ndltd.org/etd/patras-thes/oai:nemertes.library.upatras.gr:10889/2380","repository":{"repo_id":"patras-thes","name":"University of Patras","base_url":"http://nemertes.lis.upatras.gr/server/oai/request"},"display":{"title":"Εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου : ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων","abstract":"-","abstract_html":"-","abstract_has_math":false,"creators":["Ματαράς, Δημήτρης"],"institution":null,"degree_name":null,"degree_level":null,"degree_discipline":null,"degree_department":null,"school":null,"contributors":["Ραπακούλιας, Δ.","Mataras, Dimitris","Παπαθεοδώρου, Γ.","Μακιός, Β.","Νικολόπουλος, Π.","Μυτηλιναίου, Ε."],"advisors":[],"committee_chairs":[],"committee_members":[],"year":2009,"date_issued":"2009-12-11T11:22:04Z","date_published":"2009-12-11T11:22:04Z","updated_at":"2026-07-27T20:29:32Z","subjects":["Χημική τεχνολογία","Πλάσμα","660.044","Chemical technology","Plasma"],"languages":["gr"],"rights":["0"],"rights_urls":[],"identifier_entries":[]},"links":{"outbound_url":"https://hdl.handle.net/10889/2380","outbound_label":"Handle","outbound_source":"dc:identifier"},"metadata_groups":[{"id":"people","label":"People","entries":[{"key":"dc:contributor","label":"Contributor","values":["Ραπακούλιας, Δ.","Mataras, Dimitris","Παπαθεοδώρου, Γ.","Μακιός, Β.","Νικολόπουλος, Π.","Μυτηλιναίου, Ε."]},{"key":"dc:creator","label":"Author","values":["Ματαράς, Δημήτρης"]}]},{"id":"academic_context","label":"Academic Context","entries":[{"key":"dc:date","label":"Dc Date","values":["2009-12-11T11:22:04Z","1990-06"]},{"key":"dc:relation","label":"Dc Relation","values":["Η ΒKΠ διαθέτει αντίτυπο της διατριβής σε έντυπη μορφή στο βιβλιοστάσιο διδακτορικών διατριβών που βρίσκεται στο ισόγειο του κτιρίου. Το κείμενο σε ηλεκτρονική μορφή διατίθεται από το Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών στον παρακάτω σύνδεσμο: http://thesis.ekt.gr/1408"]},{"key":"dc:type","label":"Dc Type","values":["Thesis"]}]},{"id":"subjects_keywords","label":"Subjects and Keywords","entries":[{"key":"dc:subject","label":"Dc Subject","values":["Χημική τεχνολογία","Πλάσμα","660.044","Chemical technology","Plasma"]}]},{"id":"language_rights","label":"Language and Rights","entries":[{"key":"dc:language","label":"Dc Language","values":["gr"]},{"key":"dc:rights","label":"Dc Rights","values":["0"]}]},{"id":"identifiers","label":"Identifiers","entries":[{"key":"dc:identifier","label":"Identifier","values":["https://hdl.handle.net/10889/2380"]}]},{"id":"additional","label":"Additional Metadata","entries":[{"key":"dc:description","label":"Description","values":["-"]},{"key":"dc:format","label":"Dc Format","values":["application/pdf"]},{"key":"dc:title","label":"Title","values":["Εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου : ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων"]}]}],"canonical_facts":{"dc:contributor":["Ραπακούλιας, Δ.","Mataras, Dimitris","Παπαθεοδώρου, Γ.","Μακιός, Β.","Νικολόπουλος, Π.","Μυτηλιναίου, Ε."],"dc:creator":["Ματαράς, Δημήτρης"],"dc:date":["2009-12-11T11:22:04Z","1990-06"],"dc:description":["-"],"dc:format":["application/pdf"],"dc:identifier":["https://hdl.handle.net/10889/2380"],"dc:language":["gr"],"dc:relation":["Η ΒKΠ διαθέτει αντίτυπο της διατριβής σε έντυπη μορφή στο βιβλιοστάσιο διδακτορικών διατριβών που βρίσκεται στο ισόγειο του κτιρίου. Το κείμενο σε ηλεκτρονική μορφή διατίθεται από το Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών στον παρακάτω σύνδεσμο: http://thesis.ekt.gr/1408"],"dc:rights":["0"],"dc:subject":["Χημική τεχνολογία","Πλάσμα","660.044","Chemical technology","Plasma"],"dc:title":["Εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου : ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων"],"dc:type":["Thesis"]},"updated_at":"2026-07-27T20:29:32Z"}