Anorganische Precursor zur Abscheidung und Strukturierung von Gold

In dieser Arbeit werden Synthesen und Charakterisierungen neuer komplexer Nitrate der Edelmetalle Gold und Palladium vorgestellt. Die Verbindungen werden durch Oxidation von elementarem Gold oder Palladium mit Distickstoffpentoxid dargestellt. Die strukturelle Charakterisierung der Verbindungen erfolgt mit Hilfe von Röntgenstrukturanalyse. Anschließend werden die Verbindungen durch DTA/TG-Messungen untersucht. Dabei wird ein besonderer Schwerpunkt auf die Eigenschaften der Verbindungen und ihr mögliches Precursorpotential gelegt. Durch einen speziell entwickelten Prozess werden die Precursor in einem elektronenstrahlgestützten Depositionsverfahren zersetzt und auf Silicium-Wafern strukturiert abgeschieden. Die geschriebenen Metallstrukturen sind kontaminationsfrei und enthalten weder Kohlenstoff noch Chlorid.

Level thesis:degree_level

thesis.doctoral

Grantor dc:publisher

Universität Oldenburg

Year

2009

Author dc:creator

• Gerlach, Frauke

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