Études des couches dures de nitrure de titane (TiN)
Des couches de nitrure de titane (TiN) ont été prépares par la méthode de pulvérisation ionique de magnétron dans diverses conditions expérimentales. Le pourcentage d'azote de la chambre expérimentale a été varié de 0% à 45%, alors que le taux de déposition est maintenu entre 0.1 nm/s et 0.4 nm/s. A l’aide d'un spectrophotomètre et d'un ellipsomètre spectroscopique, les mesures optiques des couches de TiN ont été déterminées. Dans le domaine du visible» la réflectivité des couches de TiN obtenues est comprise entre 9% et 60%. L'indice de réfraction n de TiN varie entre 1 et 2.5, tandis que le coefficient d'extinction k est compris entre 0 et 2.5 dans une région de 300 nm à 800 nm. Des mesures électriques ont été également effectuées, établissant des valeurs de résistivité entre 2.4 x 10ˉ⁴ Ω.cm'1et 5.5 x 10ˉ⁴ fl.cmˑ².
Couches minces métalliques, Nitrure de titane, Couches minces, Propriétés optiques
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