Études des couches dures de nitrure de titane (TiN)
type: CreativeWork
description: Des couches de nitrure de titane (TiN) ont été prépares par la méthode de pulvérisation ionique de magnétron dans diverses conditions expérimentales. Le pourcentage d'azote de la chambre expérimentale a été varié de 0% à 45%, alors que le taux de déposition est maintenu entre 0.1 nm/s et 0.4 nm/s. A l’aide d'un spectrophotomètre et d'un ellipsomètre spectroscopique, les mesures optiques des couches de TiN ont été déterminées. Dans le domaine du visible» la réflectivité des couches de TiN obtenues est comprise entre 9% et 60%. L'indice de réfraction n de TiN varie entre 1 et 2.5, tandis que le coefficient d'extinction k est compris entre 0 et 2.5 dans une région de 300 nm à 800 nm. Des mesures électriques ont été également effectuées, établissant des valeurs de résistivité entre 2.4 x 10ˉ⁴ Ω.cm'1et 5.5 x 10ˉ⁴ fl.cmˑ².
abstract: Des couches de nitrure de titane (TiN) ont été prépares par la méthode de pulvérisation ionique de magnétron dans diverses conditions expérimentales. Le pourcentage d'azote de la chambre expérimentale a été varié de 0% à 45%, alors que le taux de déposition est maintenu entre 0.1 nm/s et 0.4 nm/s. A l’aide d'un spectrophotomètre et d'un ellipsomètre spectroscopique, les mesures optiques des couches de TiN ont été déterminées. Dans le domaine du visible» la réflectivité des couches de TiN obtenues est comprise entre 9% et 60%. L'indice de réfraction n de TiN varie entre 1 et 2.5, tandis que le coefficient d'extinction k est compris entre 0 et 2.5 dans une région de 300 nm à 800 nm. Des mesures électriques ont été également effectuées, établissant des valeurs de résistivité entre 2.4 x 10ˉ⁴ Ω.cm'1et 5.5 x 10ˉ⁴ fl.cmˑ².
author: Le-Quang, Dam
language: iso639-2b
language: fre
keywords: Couches minces métalliques, Nitrure de titane, Couches minces, Propriétés optiques
identifier: oclc: 726464694
date published: 1993
date modified: 2026-07-24T03:09:44Z
provider: University de Moncton
publisher: Networked Digital Library of Theses and Dissertations
type: WebPage
source organization: Université de Moncton

PropertyValue
property ID: Handle
value: https://hdl.handle.net/20.500.14658/8299