La caractérisation optique d'une couche mince par ellipsométrie de réflexion et de transmission
Dans ce travail, une théorie ellipsométrique en réflexion et en transmission pour des systèmes multicouches déposés sur un substrat transparent a été reportée, ainsi qu'une approche théorique conçue à l'étude des couches minces imparfaites, qui tient en compte les effets de perte de cohérence dus aux imperfections dans les structures internes des films minces.
Couches minces, Propriétés optiques, Ellipsométrie
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