Étude de l'anisotropie optique des couches minces d'Au et de MgF2 / Au déposées en incidences oblique
Le but de ce travail était de préparer et d'étudier des films minces anisotropes. Les études de systèmes étaient des films d'Au et de MgF$ \ Sb2$/Au déposés par évaporation thermique à plusieurs incidences obliques. Les conditions de dépôt (vitesse de dépôt, angle de dépôt, épaisseur du film, traitement thermique et bombardment ionique) ont été variées afin d'obtenir des films minces présentant des propriétés optiques anisotropes optimales. La structure des couches minces et les propriétés optiques ont été analysées en tenant compte, entre autres conditions, des variations angulaires. Il a été démontré que la transmittance du film dépend fortement de l'angle d'incidence et de la polarisation de la lumière. Les résultats obtenus montrent que les utilisations de ces films dans la fabrication de filtres optiques sont prometteuses pour réaliser une transmittance angulaire sélective. Des films minces Au d'une épaisseur de 15 nm déposés à 80$ \ sp \ circ$ d'incidence et à une vitesse de 0,3 nm/s présentent sur une anisotropie optique proche de 20%. L'anisotropie des films minces de MgF2 est très importante.
Couches minces, Propriétés optiques, Anisotropie, Or, Revêtements protecteurs, Fluorure de magnésium
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