Automatisation d'un système de déposition multicouche

L’objectif de cette thèse est de faire le montage d ’un système de contrôle automatisé capable de contrôler la déposition de multiples couches minces sous un vide poussé. Deux types de déposition seront possibles, soit par évaporation thermique ou par pulvérisation. Pendant l’expérience, le système fera l’acquisition de tous les paramètres contrôlables et agira de façon que le taux de déposition, la température du substrat et les débits de gaz voulus soient respectés durant la totalité de l’expérience. Durant la déposition, toutes les données acquises seront présentées sous forme de graphique, et suite à la déposition, toutes les données pourront être sauvegardées sous format de fichier. De plus, nous allons aussi faire des tests pour valider et améliorer la performance et le fonctionnement du système.

Name thesis:degree_name

Maîtrise ès sciences (physique)

Level thesis:degree_level

2e cycle

Discipline thesis:degree_discipline

Faculté des sciences

Grantor dc:publisher

Université de Moncton

Year dc:date.issued

2001

Author dc:creator

• LeBlanc, Luc

• Commande automatique
• Physique
• Instruments
• Couches minces
• Propriétés optiques
• Ellipsométrie

Statement dc:rights

• Author

Language dc:language.iso

iso639-2b, fre

Identifier

oclc: 726461506

Dc Identifier Other

umir:432

OAI identifier oai:identifier

oai:umoncton.scholaris.ca:20.500.14658/6449