Využití interferometrie v VT UHV SPM

Disertační práce je zaměřena na vývoj rastrovacích sondových mikroskopů. Popisuje ná- vrh a vývoj modulární řídicí elektroniky, aby mohla být využita u více mikroskopů SPM. Řídicí elektronika se sestává ze stabilizovaného zdroje napětí, vysokonapěťového zesilo- vače a zesilovače signálu sondy. Byl představen open–source projekt GXSM, tj. kontroler řídící rastrování, snímání dat a ovládá zpětnou vazbu. Dále GXSM obsahuje i gracké uživatelské rozhraní pro operační systémy linux. Pomocí rozhraní jsou nastavovány poža- dované parametry měření, zpětné vazby atd. Druhá část práce je věnována popisu, návrhu a vývoji systému pro interferometrické odměřování výchylky raménka AFM a využití in- terferometrie v oblasti SPM obecně. Navržený interferometr byl úspěšně sestaven a otes- tován. Nejnižší dosažená rozlišitelná výchylka je 2 nm. V závěru je prezentován návrh implementace interferometrického odměřování výchylky raménka AFM.

Grantor dc:publisher

Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství

Author dc:creator

• Šulc, Dalibor

Advisor dc:contributor.advisor

• Spousta, Jiří

• SPM
• AFM
• interferometrie
• řídicí elektronika SPM
• ovládací software SPM
• interferometry
• SPM drivers
• control software SPM

Statement dc:rights

• Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení

Language dc:language.iso

cs

Dc Identifier Other

89490

OAI identifier oai:identifier

oai:dspace.vut.cz:11012/51847