Back to results

Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství

Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS

Abstract

dc:description.abstract

Studium možností hloubkového profilování vrstev kombinací metod SIMS a TOF-LEIS.

Degree

thesis:*
Grantor dc:publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*
Author dc:creator
  • Duda, Radek
Advisor dc:contributor.advisor
  • Bábor, Petr

Subjects

dc:subject × 4

Rights

dc:rights
Statement dc:rights
  • Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení
Language dc:language.iso
cs

Identifiers

dc:identifier.*
Dc Identifier Other
13301
OAI identifier oai:identifier
oai:dspace.vut.cz:11012/15415

Chain of custody

source
Harvested from
Brno University of Technology
Base URL
dspace.vut.cz/oai/request
Last updated
2026-07-24
Source record
OAI-PMH GetRecord
citation

Duda, Radek. Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS. Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství, http://hdl.handle.net/11012/15415