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RWTH Aachen University
Grundlagen zur lateralen Nanostrukturierung mittels Titan basierender rastersondentechnischer Oxidation für die Herstellung von Hochtemperatur-Einzel-Elektronen-Transistoren
Author and committee
dc:creator, dc:contributor.*- Author dc:creator
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- Hamidi, Amir Hossain
- Contributors dc:contributor
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- Kurz, Heinrich
Rights
dc:rights- Statement dc:rights
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- info:eu-repo/semantics/closedAccess
- Language dc:language
- ger