Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCI

Yu, Cheol Ho

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Shaker

Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCI

dc:creator Yu, Cheol Ho

dc:date2000

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 2000

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Yu, Cheol Ho
Contributors dc:contributor: Neuschütz, Dieter

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-118447%22
OAI record oai:identifier: https://publications.rwth-aachen.de/oai2d?verb=GetRecord&metadataPrefix=oai_dc&identifier=oai%3Apublications.rwth-aachen.de%3A56331

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Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
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Yu, Cheol Ho. Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCI. Shaker, 2000. https://publications.rwth-aachen.de/record/56331

Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCI

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