Charakterisierung und Optimierung der Materialeigenschaften von porösem Silicium für aktive und passive optische Bauelemente

Arens-Fischer, Rüdiger

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RWTH Aachen University

Charakterisierung und Optimierung der Materialeigenschaften von porösem Silicium für aktive und passive optische Bauelemente

dc:creator Arens-Fischer, Rüdiger

dc:date1999

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Author dc:creator: Arens-Fischer, Rüdiger
Contributors dc:contributor: Lüth, Hans

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Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/openAccess
Language dc:language: ger

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-118089%22
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Last updated: 2026-07-30
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