Prozeßuntersuchung eines innovativen Plasmaverfahrens zur Herstellung funktionell gradierter Metall-Nichtmetall-Schichten

Hemel, Volker

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RWTH Aachen University

Prozeßuntersuchung eines innovativen Plasmaverfahrens zur Herstellung funktionell gradierter Metall-Nichtmetall-Schichten

dc:creator Hemel, Volker

dc:date1996

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Author dc:creator: Hemel, Volker

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Language dc:language: ger

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Hemel, Volker. Prozeßuntersuchung eines innovativen Plasmaverfahrens zur Herstellung funktionell gradierter Metall-Nichtmetall-Schichten. 1996. https://publications.rwth-aachen.de/record/53945

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