Einfluss von Stickstoff auf die reactive Sputterdeposition von aluminiumdotierten Zinkoxidschichten für Si-Dünnschichtsolarzellen

Krantz, Stephan

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Einfluss von Stickstoff auf die reactive Sputterdeposition von aluminiumdotierten Zinkoxidschichten für Si-Dünnschichtsolarzellen

dc:creator Krantz, Stephan

dc:date2007

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Author dc:creator: Krantz, Stephan

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Language dc:language: ger

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-112377%22
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2007

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Krantz, Stephan. Einfluss von Stickstoff auf die reactive Sputterdeposition von aluminiumdotierten Zinkoxidschichten für Si-Dünnschichtsolarzellen. 2007. https://publications.rwth-aachen.de/record/48781

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