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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"semiconductor gratings"”.
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Strain and lattice distortion in semiconductor structures : a synchrotron radiation study
Die Arbeit stellt neu entwickelte Röntgenbeugungsmethoden vor, mit deren Hilfe der Verzerrungszustand des Kristallgitters von Halbleiter-Wafern und -Bauteilen im Detail charakterisiert werden kann. Hierzu werden die aussergewöhnlichen Eigenschaften der an modernen Synchrotrons wie der ESRF …