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Showing 1 to 1 of 1 for “"selektives Plasmaätzen"”.
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Trockentechnologien zur Herstellung von kristallinen Siliziumsolarzellen
Ausgehend vom Stand der Technik wurde im Rahmen dieser Arbeit erstmals die Eignung von dynamischen Plasmaätztechnologien für die industrielle Fertigung von kristallinen Siliziumsolarzellen untersucht. <br>Die Vorgehensweise bei der Evaluierung der Technologie umfasste im wesentlichen drei Schritte: …