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Results
Showing 1 to 3 of 3 for “"piezoelektrisch"”.
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Multiferroische Schichtsysteme: Piezoelektrisch steuerbare Gitterverzerrungen in Lanthanmanganat-Dünnschichten
… vorliegenden Arbeit werden durch den inversen piezoelektrischen Effekt kontrolliert Dehnungen in Lanthanmanganatschichten eingebracht und ihr Einfluss auf die Eigenschaften der Schichten untersucht. Dazu wird im ersten Teil der Arbeit ein Zweischichtsystem bestehend aus einer Manganatschicht …
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Entwicklung von piezoelektrischen Stellantrieben mit CMOS-kompatibler Ansteuerspannung für mikrotechnische Anwendungen
Microsystems, consisting of integrated circuits (IC, CMOS), microsensors such as microactuators, can be build up monolithically as well as hybrid. These systems enable a high degree of functionality to be made with at the same time high level of integration density. While microsensors for such …