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Showing 1 to 1 of 1 for “"optische Nahfeld-Strukturierung"”.
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Optische Strukturierung ultradünner funktioneller Polymerfilme
… Belichtung erst freigelegt wird. Dafür wurden Strukturierungsmethoden für verschiedene Längenskalen erarbeitet und auf ihre Eignung geprüft. Der Nachweis der erfolgreichen Strukturierung wurde durch an die Längenskala angepaßte Methoden geführt und damit die erzeugten Strukturen sichtbar …