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Showing 1 to 1 of 1 for “"interferencelithography, resistsimulation, SU-8, AZ9260, replication"”.
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Interferenzlithographie mit hochaufbauenden Resistsystemen
… der Arbeit wurden hochaufbauende Resistsysteme (AZ9260, SU-8) auf ihre Eignung für Interferenzlithographie untersucht. Es wurden Photoresistsimulationen durchgeführt und anschließend Mikrostrukturen mit großen Aspektverhältnissen hergestellt. Dabei konnten erstmalig Mikrostrukturen mit …