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Results
Showing 1 to 2 of 2 for “"high-k Oxide"”.
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Characterization and modeling of low-frequency noise in Hf-based high -kappa dielectrics for future cmos applications
… Roadmap for Semiconductors outlines the need for high-K dielectric based gate-oxide Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors for sub-45 nm technology nodes. Gate oxides of hafnium seem to be the nearest and best alternative for silicon dioxide, when material, thermal and structural …
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Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium
Die vorliegende Arbeit entstand im Rahmen einer Kooperation des Forschungszentrums Dresden-Rossendorf mit Qimonda Dresden GmbH & Co. OHG. Mithilfe der hochauflösenden Rutherford-Streuspektrometrie (HR-RBS) wurden das Diffusionsverhalten und Schichtwachstum von ZrO2 auf SiO2 und TiN im …