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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"dünne & harte Schichten"”.
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Entwicklung und Charakterisierung einer neuen Clusterquelle für die Herstellung dünner Schichten
… zu Clustern, die weiterhin für die Herstellung dünner Schichten verwendet werden. Bei der neuen Clusterquelle ist ein Optimum der Geometrie und Betriebsparameter gesucht und gefunden worden. Die neue Clusterquelle weist eine hochskalierbare Konfiguration. Für das Verständnis des physikalischen …