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Results
Showing 1 to 5 of 5 for “"UV-LIGA"”.
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Uv-liga Compatible Electroformed Nano-structured Materials For Micro Mechanical Systems
UV-LIGA is a microfabrication process realzed by material deposition through microfabricated molds. UV photolithography is conducted to pattern precise thick micro molds using UV light sensitive materials, mostly SU-8, and electroforming is performed to fabricate micro metallic structures defined …
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Design and fabrication of electromagnetic micro-relays using the UV-LIGA technique
… relay for power applications using a multilayer UV-LIGA process. A mechanically wrapped coil was used and very simple design for the magnetic circuit was adopted to increase the design flexibility and performances. The broad material selection and the capability of making high aspect ratio …
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Mikrofluidisches Trennverfahren für die chipintegrierte Blutdiagnostik
… Strukturen basiert auf einem erweiterten UV-LIGA Prozess mit Metallsubstraten. Damit kann die Prozesszeit der galvanischen Abscheidung wesentlich verkürzt werden. Die Zykluszeit für einen vollständigen Prozess vom Design bis zur fertigen mikrofluidischen Struktur in einem Kunststoff-Chip …
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Rheological characterisation of solder pastes and isotropic conductive adhesives (ICAs) for microsystems assembly technology
… (XP22, Tamura and Polysolder) paste using a UV-LIGA manufactured stencil recently developed at Heriot-Watt University. The work is part of EPSRC funded research project on Microsystems Assembly Technology for the 21st Century under grant GR/R09206/02, and was carried out in collaboration with …
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Verfahrensentwicklungen beim Mehrkomponenten-Spritzgießen zur Herstellung von keramischen und metallischen Mikrobauteilen
… Karlsruhe mit der Entwicklung der LIGA-Technik, bei der Formeinsätze durch Röntgentiefenlithographie und Galvanoformung gefertigt werden. Es konnten in der Vergangenheit zahlreiche Mikrosysteme durch Kombination von Mikrofertigungsverfahren hergestellt werden, z.B. …