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Showing 1 to 1 of 1 for “"Toleranzsystem"”.
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Störungssystematikbestimmte Instandhaltung in einem Wafertransportsystem
… dann gegeben, wenn das Störungsverhalten auf Toleranzsystemen basiert, in welchen vollständige Austauschbarkeit nicht nur gefordert, sondern ein Großteil der möglichen Elementepaarungen auch tatsächlich getestet wird. Im hier beschriebenen Fall fanden pro Tag ca. 750 000 Ereignisse zwischen …