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Results
Showing 1 to 6 of 6 for “"Titannitrid"”.
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Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
… ein neues Verfahren zur Trockenreinigung von ALD-Titannitrid Kammern vorgestellt. Dazu wurden TiN-Stücke (hergestellt im ALD, CVD, PVD-Verfahren) auf einem temperaturgeregelten Probenhalter platziert. Eine Argon/NF3 Gasmischung wurde in einer externen Plasmaquelle (RPS) zerlegt und in die …
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Untersuchungen zur Anwendbarkeit von Titannitrid- und Zirkonnitrid-Nanopartikeln als Farbpigmente und zum magnetischen Verhalten von Nickel-Nickeloxid-Kern-Hülle-Nanopartikeln
In two thematically different parts, this work presents results of theinvestigation of novel nanoparticle matter composed of titanium nitride (TiN),zirconium nitride (ZrN), and nickel (Ni), respectively. All samples wereproduced with the nanoparticle beam apparatus LUCAS.In the first part, the …
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Characterization of catalytically active solid liquid interfaces by scanning electrochemical microscopy (SECM)
… Der Feedback Modus wurde eingesetzt, um Titannitrid Dünnschichtelektroden auf ihre mögliche Eignung als Elektrodenmaterial zu untersuchen. Es wurde nachgewiesen, dass eine vergrößerte Oberfläche einen großen Einfluss auf die Elektronentransfergeschwindigkeit hat. Die isolierenden …
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Beschichtung von textilen Flächen mit den PVD-Technologien reaktives Vakuumbogen-Verdampfen und reaktives Magnetron-Sputtern : PVD-Beschichtung von textilen Flächen
… Vorbehandlung wurden die Proben mit Titan und Titannitrid metallisiert. Die Charakterisierung der Substrat-Schicht-Verbunde erfolgt hinsichtlich - der chemischen Zusammensetzungen der Schichten mittels ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis), - der Schichtstrukturen und …
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Verfahrensentwicklungen beim Mehrkomponenten-Spritzgießen zur Herstellung von keramischen und metallischen Mikrobauteilen
… wird als elektrisch leitfähige Komponente Titannitrid zugemischt. Die Formgebung erfolgt durch das Zweikomponenten-Spritzgießen. Nach dem Entbindern und Sintern entsteht ein kompaktes Bauteil. <br>2. Zweikomponenten-Thermoplast-Spritzgießen für die galvanische Replikation <br>Der Durchbruch …