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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"Tantalnitrid"”.
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Analyse dünner Schichten mit der optischen Glimmentladungsspektroskopie
Die vorliegende Arbeit hat zum Ziel, ausgehend vom aktuellen Stand der Technik, die Möglichkeiten der optische Glimmentladungsspektroskopie (GD-OES) für Tiefenprofilanalysen dünner und dünnster Schichten (Schichtdicken = 1 bis 100 nm) zu bestimmen und geeignete instrumentelle und methodischen …