Global ETD Search
Search theses and dissertations gathered from participating repositories worldwide. Every result links back to the library that holds it. No account is needed.
Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"Silazan"”.
-
Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie
… erhältlicher präkeramischer Polymere auf Polysilazanbasis für die Strukturierung mit UV- und Synchrotronstrahlung wurde erforscht. Resistmaterialien wurden, teilweise durch Zugabe fotoaktiver Komponenten, entwickelt. Der Einsatz dieser Materialien in lithographischen Verfahren ermöglichte die …