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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"Procesos térmicos rápidos"”.
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Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD
… las muestras fueron sometidas a tratamientos térmicos rápidos (RTA) a temperaturas comprendidas entre 300 ºC y 1050 ºC con el objetivo de estudiar la evolución de las propiedades del SiNx:H en función de la temperatura de estos procesos. Un amplio número de técnicas analíticas y …